Vermessungsanlage für Siliziumkristalle
Ein namhafter Hersteller aus dem Bereich der chemischen Industrie stellt Siliziumstäbe zur Weiterverarbeitung zu Wafern her. Die gezüchteten kristallinen Strukturen fallen bei der Herstellung nicht immer exakt identisch aus. Die speziell konzipierte Prüfanlage testet die qualitätsrelevanten Kenngrößen an den Prüflingen. Hierzu wird die Geometrie des Stabes mittels eines auf einer NC Achse verfahrenen Lasermessung ermittelt und alle Messwerte (Leitfähigkeit; Widerstand) dazu in Relation gesetzt. Zusätzlich erfolgt die Ermittlung der Dotierung mittels Thermospannung an einem temperierten und einem unbeheizten Kontakt. Die Resultate werden zu dem auf dem vom Prüfling eingelesenen DMC in der anlagenseitigen Datenbank archiviert.